Ю. А. Родионов
Скачать бесплатно все книги автора в электронных форматах pdf, fb2, epub, mobi и др. или читать онлайн, а также в формате аудиокниг, которые можно также прослушать онлайн или скачать в формате mp3 бесплатно.
-
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. -
Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе низкотемпературной керамики, подвесные активные элементы, толстоплёночные пассивные элементы. -
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. -
Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на осн